Auger Electron Spectrometer

Content
1. Ki sa ki se espektroskopi elektwon Auger?
2. Aplikasyon nan espektroskopi elektwon Auger
3. Auger elèktron spèktroskopi prensip k ap travay
4. Avantaj nan espektwomèt elèktron Auger
5. Estrikti nan espektroskopi elektwon Auger
6. Auger elèktron espektroskopi echantiyon pre-tretman
7. Auger spesifikasyon elèktron espektroskopi 
8. Ki jan yo kòmande espektroskopi elektwon Auger?

Auger elèktron spèktroskopi (AES) se yon teknik analyse pou sifas ak materyèl syans. Se poutèt sa, teknik la rele sitou pa analiz la nan efè a Osher. An 1953, OSCE spectroscopy te piti piti aplike nan analiz de pwopriyete chimik yo ak konpozisyon sifas echantiyon an. Li karakterize pa lefèt ke elektwon Roche yo soti nan yon sifas ki pa fon epi sèlman pote enfòmasyon soti nan sifas la, ak pozisyon enèji nan spectre a fiks ak fasil analize.

Analiz elemantè nan sifas echantiyon nanoceramik poud
Nan pwosesis la nan preparasyon poud nanoceramik, espektwomèt elèktron Auger ap eseye anrichi sifas la nan patikil poud ak sèten dopan yo fòme yon kouch enklizyon nan bi pou yo diminye aglomerasyon poud, amelyore pwopriyete fwontyè grenn jaden ak anpeche kwasans grenn. Anjeneral, epesè kouch anrichisman sifas la ka sèlman nan lòd kèk kouch atomik. Teknik analiz sifas Osher la gen yon ti pwofondè echantiyon. Lè karakteristik pik yo nan enèji sinetik elemantè oswa enèji obligatwa karakterize konpozisyon chimik nan patikil poud yo te nwaye pa pik yo karakteristik nan dopants, sifas la se tout bon anrichi ak dopants.

Analiz elemantè ak analiz pwofondè fim mens, fim multikouch ak espesimèn fim epè
Depi enstriman AES ekipe ak yon sistèm gravure ion zam, yon lòt aplikasyon pi gwo, anplis netwayaj sifas echantiyon an, se analiz distribisyon eleman ak pwofondè echantiyon an (pwofondè ranje soti nan kèk nanomèt ak plizyè santèn). nanomèt). Teknik analiz sa a obligatwa pou fim pasivasyon, fim izolasyon tèmik, fim feroelektrik, fim difisil, elatriye Apre kouch dekale ak koleksyon kouch nan spectre, bon jan kalite a nan fòmasyon fim, lajè difizyon nan koòdone a, mekanis difizyon ak fim fè paramèt pwosesis ki bezwen ajiste ka analize.

Analiz elemantè sou sifas espesimèn blòk yo
Sèten espesimèn gen jenerasyon sifas mens ak zòn jenerasyon ti, tankou analiz de kontaminasyon ak anti-polisyon sou sifas plak asye ak pyès monnen an ajan, ak analiz de kòz echèk aparèy mikwoelektwonik yo. Lòt espesimèn gen eleman ultra-limyè, tankou analiz Li, B, C ak N nan seramik konpoze ki baze sou SiC ak fib SiC kouvwi ak kouch BN ak C, ak Li-dope kalsyòm titanate seramik fonksyonèl.

Jounal prensip debaz nan espektroskopi elektwon Auger se ke lè yon gwo-enèji gwo bout bwa elèktron reyaji ak yon echantiyon solid, elektwon yo nan koki enteryè atòm nan eksite pa ionizasyon epi kite yon pòs vid, ak elektwon yo deyò sote nan nivo enèji sa a. Nan pwosesis la nan divilge enèji, atòm nan ka emèt yon limyè radyografi ak enèji karakteristik, oswa li ka transfere enèji sa a nan yon lòt elèktron ekstèn, sa ki lakòz plis ionizasyon e konsa emèt yon RSE ak enèji karakteristik. Deteksyon enèji ak entansite elèktron Roche bay enfòmasyon kalitatif ak quantitative sou konpozisyon chimik kouch sifas la. Pou yon atòm, atòm eksite a ka sèlman emèt yon sèl kalite enèji: reyon X karakteristik oswa elektwon Roche. Pou eleman ki gen yon nimewo atomik segondè, reyon X karakteristik yo gen plis chans pou yo emèt, ak pou eleman ki gen yon nimewo atomik ki ba, elektwon yo osile yo gen plis chans pou yo emèt, epi lè nimewo atomik la se 33, de kalite yo. nan emisyon yo apeprè egal. Se poutèt sa, AES apwopriye pou analiz eleman limyè yo. Si yon gwo bout bwa elèktron eksite yon elèktron nan kouch K nan yon atòm kòm yon elèktron gratis, elèktron kouch L la sote nan kouch K la, ak enèji ki lage a eksite yon lòt elèktron nan kouch L kòm yon elèktron entèrstisyèl, sa a. elèktron entèrstisyèl yo rele yon elèktron entèstiti KLL. Menm jan an tou, elèktron LMM la se yon elèktron nan kouch L ki eksite, epi elèktron M-kouch ranpli nan kouch L la, ak enèji ki lage a lakòz yon lòt elèktron M-kouch eksite.

AES se sitou yon teknik analyse pou jwenn enfòmasyon sou espès elemantè yo, konpozisyon, ak eta chimik nan sifas echantiyon an, ak avantaj li yo se jan sa a:
① Kouch analyse mens, ki ka bay enfòmasyon sou konpozisyon yon kouch mens nan rejyon 0-3 nm sou sifas yon echantiyon solid.
② Wide ranje eleman analize, ka analize tout eleman eksepte H ak He, sansib a eleman limyè.
③ Ti zòn analiz, yo ka itilize pou analiz chanjman konpozisyon nan rejyon an ≤ 50 nm nan materyèl yo.
④ Kapasite pou bay eta chimik eleman yo.
⑤ Kapasite pou detèmine distribisyon pwofondè-a-konpozisyon.
⑥ Pou pifò eleman, sansiblite deteksyon quantitative se 0.1% a 1.0%. Presizyon nan analiz quantitative limite a 4-30% nan eleman yo prezan lè yo itilize koyefisyan sansiblite elemantè pou kalkil, epi li posib amelyore rezilta quantitative lè estanda echantiyon menm jan yo itilize.

Enstriman AES sitou konsiste de yon sistèm optik elektwon, analizè enèji elektwon, sistèm plasman echantiyon, zam ion, ak sistèm vakyòm ultra-segondè.

Elektwon sistèm optik

Sistèm optik elèktron a konsiste de yon sous eksitasyon elektwon (zam elèktron katod cho), yon gwo bout bwa elèktron konsantre (lantiy elektwomayetik), ak yon sistèm devyasyon (bobin devyasyon). Endikatè prensipal yo nan sistèm optik elèktron se enèji gwo bout bwa elèktron ensidan an, entansite gwo bout bwa a, ak dyamèt gwo bout bwa a. Zòn minimòm pou analiz AES depann de dyamèt tach minimòm gwo bout bwa a nan gwo bout bwa elèktron ensidan an; sansiblite deteksyon an depann de entansite gwo bout bwa a. De paramèt sa yo souvan yon ti jan kontradiktwa, kòm yon dyamèt gwo bout bwa ki pi piti pral lakòz yon diminisyon enpòtan nan aktyèl gwo bout bwa, ak Se poutèt sa se yon konpwomi jeneralman obligatwa.

Analizè enèji elektwon
Sa a se kè AES ak fonksyon li se kolekte epi separe elektwon nan diferan enèji sinetik. Akòz enèji ki ba anpil nan elektwon osilateur yo, yo dwe itilize aparèy espesyal pou reyalize sansiblite ki nesesè nan enstriman an. Prèske tout espektwomèt OSCE aktyèl yo itilize yon aparèy ki rele yon analizeur katouch.
Kò prensipal la nan analiz la se de silenn konsantrik. Echantiyon an ak silenn enteryè a chita ansanm, yo aplike yon vòltaj defleksyon negatif sou silenn ekstèn lan, yo louvri yon inlet ak priz elèktron sikilè sou silenn enteryè a, epi yo mete zam elèktron eksitasyon an nan chanm anndan analizè katouch la ( li kapab tou mete deyò analyser katouch la). Elektwon yo ak sèten enèji ki emèt nan echantiyon an antre nan de silenn yo soti nan pozisyon an inlet, epi finalman, elektwon yo antre nan detektè a soti nan priz la paske nan vòltaj la devyasyon aplike nan silenn lan deyò. Si vòltaj la devyasyon sou silenn deyò a kontinyèlman chanje, elektwon yo entèstisyal ak enèji diferan ka resevwa nan detektè a nan vire. Pwodiksyon elektwon ki soti nan analyser enèji a antre nan kontwa batman kè apre miltiplikatè elektwon ak preamplifier, epi finalman, achiv XY oswa ekran fliyoresan montre koub distribisyon kantite elektwon entèrstisyèl N ak enèji elektwon E.
Si analizeur glas barik la konbine avèk kous la optik gwo bout bwa elèktron, yo ka fòme yon mikwoskòp OSCE optik (figi dwat). Zam elèktron a travay menm jan ak mikwoskòp elektwon optik la, kote lantiy de etap la diminye plas reyon elektwon an a 3 mikron, ak sistèm optik la kontwole gwo bout bwa elektwon an pou pwodui similtane optik sou echantiyon an ak ekran fliyoresan tib foto a.

Sistèm plasman echantiyon
Sistèm nan anjeneral konsiste de yon sistèm entwodiksyon echantiyon, yon etap echantiyon, yon aparèy chofaj oswa refwadisman, elatriye Pou diminye tan ki nesesè pou chanjman echantiyon ak kenbe yon vakyòm segondè nan chanm echantiyon an, espektwomèt OSCE a sèvi ak yon etap echantiyon wotasyon, Kapab kenbe 6-12 echantiyon an menm tan ak livrezon echantiyon yo dwe analize nan pozisyon tès la jan sa nesesè.
Echantiyon an pou espektwomèt OSCE a dwe kapab kenbe tèt ak anviwònman an vakyòm san dekonpozisyon grav anba iradyasyon gwo bout bwa elèktron. Sibstans òganik ak temèt pa ka analize pa OSI. Echantiyon poud yo ka brikèt epi yo mete yo nan chanm echantiyon an.

Ion zam
Li konsiste de yon sous ion ak travès konsantre lantiy ak lòt pati, gen fonksyon sa yo:
netwaye sifas echantiyon an pou analiz echantiyon an mande pou trè pwòp, nan analiz la anvan souvan itilize sputtering ion zam la sou netwayaj sifas echantiyon an, yo retire pousyè tè a tache ak sifas echantiyon an.
kouch pa kouch sifas echantiyon grave, konpozisyon echantiyon nan analiz la pwofil pwofondè. Anjeneral sèvi ak diferans agon ion zam, se sa ki, itilize nan presyon diferans ponpe pou ke zam la ion nan presyon gaz la pase chanm analiz la se apeprè 103 fwa pi wo. Nan fason sa a lè zam iyon an travay, chanm analiz la ka toujou nan yon vakyòm segondè. Enèji gwo bout bwa a ion ka ajiste nan seri a nan 0.5 a 5 keV, ak dyamèt tach gwo bout bwa a se reglabl soti nan 0.1 a 5 mm. Pou eskli enfliyans nan kwen an sputtering pèlen, zòn nan grave sputtering ta dwe pi gwo pase dyamèt la nan plas la gwo bout bwa elèktron ensidan. Ka gwo bout bwa a ion tou ap tcheke sou yon pakèt domèn.

Ultra-wo sistèm vakyòm
Sa a se yon eleman enpòtan nan AES. Sa a se paske yon nivo vakyòm segondè minimize tach nan sifas echantiyon an pandan pwosesis mezi a, sa ki lakòz rezilta analiz sifas kòrèk. Nivo vakyòm segondè nan aktyèl AES komèsyal ka rive nan apeprè 10-10 Torr. San yo pa ase vakyòm, patikil gaz yo pral konfòme yo ak sifas la, epi yon monokouch ka adsorbe nan apeprè 1 segonn nan 10-6 torr. Menm nan yon vakyòm nan 10-10 torr, yon kantite konsiderab kabòn ak oksijèn pral adsorbed sou sifas aktif la nan 30 minit, prèske apwoche yon monokouch. Se poutèt sa kontaminasyon anviwònman an nan sistèm vakyòm enpòtan.

Auger elèktron spèktroskopi gen kondisyon espesifik pou analiz echantiyon yo, epi an jeneral, yo ka analize sèlman echantiyon solid kondiktif. Izolan solid yo ka analize ak tretman espesyal. Nan prensip, echantiyon poud pa ka analize pa ERS, men yo ka analize pa preparasyon espesyal echantiyon. Echantiyon yo dwe analize yo anjeneral sibi kèk pretreatment paske nan transfè a ak plasman echantiyon yo nan yon vakyòm.

Manyen echantiyon poud
Gen de metòd komen nan preparasyon echantiyon pou echantiyon poud. Youn se sèvi ak tep kondiktif pou ranje poud lan dirèkteman sou etap echantiyon an, ak lòt la se peze echantiyon an poud nan yon fèy mens ak Lè sa a, ranje li sou etap echantiyon an.

Manyen echantiyon temèt
Pou echantiyon ki gen sibstans ki sou temèt, sibstans ki sou temèt yo dwe retire anvan echantiyon an antre nan sistèm vakyòm nan AES. Anjeneral, echantiyon an ka chofe oswa netwaye ak sòlvan. Pou echantiyon ki gen sibstans lwil, echantiyon yo jeneralman netwaye pa netwayaj ultrasons ak hexane, asetòn, ak etanòl nan vire, ak Lè sa a, seche nan enfrawouj anvan yo antre nan sistèm vakyòm nan.

Kontaminasyon sifas nan pwosesis echantiyon an
Pou echantiyon ki kontamine ak sibstans òganik tankou lwil oliv, echantiyon an dwe netwaye ak lwil anvan ou antre nan espektwomèt elèktron Auger la. Anvan w antre nan sistèm vakyòm lan, echantiyon an dwe netwaye ak solvang lwil oliv-idrosolubl, tankou cyclohexane, asetòn, elatriye, epi finalman lave ak etanòl pou retire solvang òganik yo. Pou asire ke sifas echantiyon an pa soksid, seche natirèl jeneralman itilize. Gen kèk echantiyon yo ka poli.

spesifikasyon:
1. Auger elèktron spectroscopie instrumentation se analiz pwofondè milti-echantiyon totalman otomatik ki disponib pou analiz pwofondè rapid nan ti zòn nan nivo mikron espesifik.

2. Ekipe ak yon analizeur enèji emisferik sansib, li ka bay gwo sansiblite ak siyifikativman diminye tan analiz echantiyon. Anplis de sa, AES a ka mezire echantiyon miltip nan yon peryòd kout.

3. K ap flote kolòn kalite zam ion: gwo aktyèl gwo enèji gwo iyon gwo bout bwa yo itilize pou fim epè, se gwo bout bwa a ion ki ba enèji yo itilize pou fim ultra-mens, kalite kolòn k ap flote asire gwo pousantaj etch ak vòltaj akselerasyon ki ba, kolòn koube fizik pral bloke gwo enèji net atòm yo, konsa amelyore sputtering twou fòm ak diminye sputtering nan zòn adjasan yo.

Si ou enterese nan nou an espektroskopi elèktron auger oswa ou gen nenpòt kesyon, tanpri ekri yon imèl bay [imèl pwoteje], nou pral reponn ou pi vit ke posib.