Glow Egzeyat Optical Emisyon Spectrometer
Ki sa ki se spèktromèt emisyon optik egzeyat lumineux?
Spèktroskopi egzeyat lumineux se yon nouvo kalite teknik analiz sifas ki pèmèt analiz dirèk echantiyon solid yo. Pandan ane yo, teknik pwofil pwofondè lumière yo te lajman itilize nan jaden analiz sifas materyèl, ak moun yo de pli zan pli apresye teknik sa a. Glow egzeyat emisyon optik espektwomèt ofri avantaj inik ak iranplasabl nan profilaj sifas ak pwofondè materyèl yo. Okòmansman, egzeyat lumineux la spectrometer Li te soti nan endistri asye a epi li te sitou itilize pou detèminasyon fèy asye galvanize ak fim pasivasyon sou sifas asye.
Ki sa ki se egzeyat lumineux?
Fenomèn fizik yon gaz ke yo dekonpoze anba aksyon yon jaden elektrik ak kondwi elektrisite anjeneral yo rele yon egzeyat gaz. Gen de fòm egzeyat gaz, egzeyat lumineux ak egzeyat arc. Glow ekoulman yo divize an dechaj lumineux nòmal ak dechaj lumineux anòmal. Yo se pati debaz mayetron an. krache pwosesis kouch pou pwodui plasma.
Glow egzeyat (oswa egzeyat ekla nòmal) ka fòme pa DC oswa enpulsyonèl DC pouvwa sib atravè egzeyat gaz la, men tou, ak AC (rektangilè vag bipolè batman si pouvwa, vag sinis IF ak RF) sib pouvwa atravè egzeyat gaz la chanm vakyòm. Nan egzeyat gaz la, ki kalite gaz k ap travay, presyon lè segondè oswa ba, gwosè a nan dansite aktyèl la, distribisyon an, ak segondè oswa ba fòs elektrik ak mayetik jaden, diferan materyèl, fòm ak karakteristik kote nan elektwòd la, ak lòt faktè pa pral sèlman afekte pwosesis la ak nati nan egzeyat la, men tou afekte nati a ak koulè nan limyè a radyasyon lè egzeyat la.
A. Egzeyat lumineux DC
a. Lè yo ajoute vòltaj DC ant katod la ak anod la, elektwon ak iyon ki rete nan gaz k ap travay nan chanm lan fè mouvman direksyonèl anba aksyon chan elektrik la, kidonk kouran an ogmante soti nan zewo.
b. Lè vòltaj ant elektwòd si kouran an gwo ase, tout iyon chaje yo ka rive nan elektwòd respektif yo, lè kouran an rive nan yon sèten maksimòm.
c. Lè vòltaj dechaj ant elektwòd yo pi gran pase yon sèten valè kritik (vòltaj luminesans ignisyon), kouran dechaj la ap monte sibitman e rapidman, epi vòltaj ant katod la ak anod la ap bese rapidman epi rete nan yon valè ki pi ba e ki estab. Gaz travay la sibi dekonpozisyon, iyonizasyon, epi li pwodui plasma ak yon dechaj luminesans oto-soutni, ki se pwosesis debaz "dechaj Townsend", ke yo rele tou dechaj luminesans nòmal ak ti kouran.
d. Katod sib mayetron an konekte ak tèminal negatif ekipman pou pouvwa sib la, epi anod la konekte ak tèminal pozitif ekipman pou pouvwa sib la. Sputtering nòmal la dwe nan koub karakteristik vòlt-ampè egzeyat gaz la nan operasyon "rejyon egzeyat lumineux anòmal" la. Karakteristik li se ke lè ajisteman pwodiksyon pouvwa sib mayetron an ogmante, kouran sputtering lan ta dwe tou senkronize ak yon ogmantasyon dousman.
B. Egzeyat lumineux DC pulsasyon
The egzeyat gaz nan yon batman kè sèl nan yon enpulsyonèl oswa sinusoidal mwatye vag IF ekipman pou pouvwa sib yo ta dwe konsistan avèk modèl la varyasyon nan seksyon an egzeyat ekla nòmal nan koub la DC gaz egzeyat volt-anpè karakteristik ak seksyon anvan an. Li ka konsidere kòm gaz egzeyat volt-anpè karakteristik nan yon sèl batman kè nan repwodiksyon an egzeyat. Ekipman pou pouvwa DC sib enpulsyonèl la kòmanse klere sputtering pandan batman kè a ak natirèlman etenn lumière ki genyen ant pulsasyon (difisil yo fè distenksyon ant ak je a toutouni akòz frekans nan segondè).
Apre egzeyat ekla sib sputtering la, si frekans repetisyon batman kè pwodiksyon pwodiksyon pouvwa a wo ase epi iyon kondiktif nan kavite vakyòm lan pa te konplètman netralize, li pral mennen nan dezyèm (pita) batman repetisyon vòltaj re-glow la ak sib la sputtering k ap travay vòltaj fèmen oswa menm bagay la. Si sib sputtering la ekla limyè apre pwodiksyon ekipman pou pouvwa a frekans repetisyon batman kè se trè ba oswa tan arc etenn se twò lontan ak iyon yo kondiktif nan kò a kavite vakyòm te lajman netralize, li pral mennen nan dezyèm (pita) repete batman kè a re. -glow vòltaj nan yon valè ki pi wo, ak ignisyon ekla lè vòltaj segondè a se tou pre oswa menm bagay la.
Prensip k ap travay nan spèktromèt emisyon optik egzeyat lumineux
Glow egzeyat emisyon optik espektwomèt se yon espektwomèt emisyon. Li travay lè l sèvi avèk yon sous limyè yo mete eleman echantiyon an nan yon eta eksite, epi lè elektwon yo ekstèn nan eleman echantiyon an retounen soti nan eta a gwo enèji nan eta a ki ba-enèji, se spectre nan karakteristik emèt. Spectre karakteristik eleman yo nan echantiyon an analize pa emisyon eleman an.
Lanp egzeyat lumineux se sous la limyè nan enstriman an egzeyat lumineux, e gen de elektwòd nan yon sous limyè RF lumineux egzeyat. Dyamèt yon lektwòd kwiv tubulaires 4mm se youn nan yo, ki se Anòd la, ak anod a te chita. Ak echantiyon an kòm katod a, fè yon potansyèl RF konsève, sa a se potansyèl la ki te pwodwi pa endiksyon pouvwa segondè frekans (RF). Se gaz Agon ki ba presyon chaje nan lanp egzeyat lumineux, ak yon ti kantite iyon agon yo espontaneman pwodwi nan lanp lan, ki pase nan espas sa a anod-katod anba aksyon an nan potansyèl RF, ki fè osilasyon an gwo vitès pwodwi. . Iyon Agon akselere ak atòm Agon fè kolizyon, fè plis iyon Agon ak elektwon pwodwi, ki fè fòmasyon plasma a, ki se ke yo rele tou. egzeyat lumineux. Iyon agon gwo vitès nan plasma a rive nan sifas echantiyon an (katòd) pou materyèl ki sou sifas echantiyon an sputtered soti inifòm ak difize nan plasma a lumineux-egzeyat. Se difizyon an disosye ak atomize nan plasma a, ki se eksite ak lakòz emisyon an nan spèkt yo karakteristik nan eleman echantiyon yo.
Limyè ki soti nan echantiyon an konsantre ak espektroskopik lè l sèvi avèk yon sistèm optik epi li rive nan detektè segondè dinamik HDD a, ki resevwa siyal limyè a. Se siyal optik la konvèti nan yon siyal elektrik epi li voye nan yon òdinatè pou trete lè l sèvi avèk yon sistèm kontwòl elektwonik. Òdinatè a ekipe ak lojisyèl espesyal, ki konpare koub estanda prereglaj nan lojisyèl an ak siyal entansite limyè nan divès eleman pou yo ka mezire konsantrasyon chak eleman.
Glow egzeyat vs netwayaj plasma
A. Kisa plasma ye?
a. Plasma Nan teknoloji kouch pulverizasyon mayetron vakyòm jeneralman fòme pa egzeyat yon gaz k ap travay anba aksyon yon chan elektrik. Atòm ki fòme molekil yo vin gen ase enèji sinetik pou yo kòmanse separe youn ak lòt, elektwon ekstèn atòm yo vin lib de nwayo a, epi atòm ki pèdi elektwon yo vin iyon pozitif. Pwosesis sa a rele iyonizasyon. Yon plasma se yon gaz iyonize, yon koleksyon iyon, elektwon, atòm ki gen anpil enèji, elatriye. Nan agregasyon sa a, iyon pozitif ak elektwon toujou parèt an pè, nan kantite apeprè egal, epi tout la se kwazi-elektrikman net. Li se yon eta iyonize ki konpoze de patikil chaje epi yo rele li katriyèm eta matyè a - eta plasma a.
b. Yo aplike yon vòltaj oswa yon chan elektrik sou yon egzeyat gaz pou fòme yon plasma, akonpaye pa mouvman iyon kondiktè, patikil, elektwon, elatriye. Nan pwen sa a, yo koule nan plasma a avèk yon kouran elektrik, ki se konduktivite plasma a.
c. Pandan pwosesis depozisyon vapè a, gaz k ap travay la ak atòm metal sib yo iyonize pa enpak elektwon ki gen anpil enèji nan yon plasma ki gen elektwon, iyon gaz ak iyon metal, ak lòt patikil kondiktif.
B. Netwayaj egzeyat lumineux
Aparèy la itilize pou jenere plasma nan yon machin netwayaj plasma mete nan yon veso sele avèk de elektwòd pou fòme yon chan elektrik, avèk yon Ponp vakyòm pou reyalize yon sèten degre vakyòm.
Kòm gaz yo vin pi mens ak pi mens, espas molekilè a ak distans mouvman gratis nan molekil oswa iyon tou vin pi long. Pa aksyon yon jaden elektrik, yo fè kolizyon epi fòme yon plasma. Iyon sa yo trè reyaktif ak enèji yo ase pou kraze prèske tout lyezon chimik yo epi lakòz reyaksyon chimik sou nenpòt sifas ki ekspoze. Diferan gaz nan plasma a gen diferan pwopriyete chimik. Pou egzanp, plasma nan oksijèn gen pwopriyete oksidasyon segondè epi li ka oksidasyon reyaksyon an fotorezist pou jenere gaz, kidonk reyalize efè a netwayaj. Plasma nan gaz korozif gen bon anisotropi pou li ka satisfè bezwen yo nan grave. Itilize nan tretman plasma emèt yon lumineux, kidonk li rele tretman egzeyat lumineux.
Pandan egzeyat la lumineux, elektwon ak iyon pozitif deplase nan direksyon anod la ak katod respektivman anba aksyon an nan jaden elektrik la nan tou de poto nan egzeyat la ak akimile tou pre poto yo pou fòme yon zòn chaj espas. Paske vitès drift iyon pozitif yo pi piti anpil pase elektwon yo, dansite chaj nan zòn chaj espas iyon pozitif la pi gwo anpil pase sa ki nan zòn chaj espas elèktron, sa ki fè tout vòltaj entèpolè a prèske totalman konsantre nan yon rejyon etwat toupre. katòd la. Sa a se yon karakteristik enpòtan nan egzeyat la lumineux. Ak nan egzeyat lumineux nòmal la, vòltaj ki genyen ant de poto yo pa chanje ak aktyèl la.
Kijan pou achte yon espektwomèt emisyon optik ki fonksyone ak egzeyat lumineux?
Si ou enterese nan nou an Glow Egzeyat Optical Emisyon Spectrometer oswa ou gen nenpòt kesyon, tanpri ekri yon imèl bay info@antiteck.com, nou pral reponn ou pi vit ke posib.