Sputter Coater

Content
1. Ki sa ki sputter coater?
    1.1 Ki sa ki sputtering?
        1.1.1 Sputtering siyifikasyon
        1.1.2 Ki sa sputtered vle di?
    1.2 Ki sa ki pwosesis sputtering?
        1.2.1 Ki sa ki kouch sputter?
        1.2.2 Magnetron sputtering prensip
        1.2.3 Definisyon objektif Sputtering
    1.3 Ki sa ki depozisyon sputtering?
    1.4 Avantaj ak dezavantaj nan sputtering
        1.4.1 Avantaj nan sputtering
        1.4.2 Dezavantaj nan sputtering
2. Sputter coater pou SEM
    2.1 SEM prensip k ap travay
    2.2 Dezavantaj SEM
3. Ki jan yo achte sputter coater?

Catalogue:  Sputter Coater

Sputter coater se yon kontra enfòmèl ant, sistèm kouch tab ki se patikilyèman apwopriye pou kouch kalite siperyè nan echantiyon ki pa kondiktif pou optik imaj mikwoskòp elèktron. Kenbe echantiyon an sèk ak pwòp se yon kondisyon debaz pou sputtering kouch. Si sa nesesè, echantiyon an ak katod yo chanje epi yo netwaye sifas la pa egzeyat etensèl. Apre sa, echantiyon an refè epi apre sa sputter kouvwi. Fè, nikèl, kwiv, ak plon yo souvan itilize kòm materyèl katod pou enstriman sa a, epi pafwa elektwòd lò, platinum, paladyòm, endyòm, ak lòt metal yo ka itilize tou kòm materyèl katod.

Sputtering se youn nan teknik preparasyon fim mens PVD, ki divize an kat kategori prensipal: sputtering DC, sputtering AC, sputtering reyaktif, ak magnetron sputtering.

a. Sputtering se pwosesis la nan bonbade yon materyèl sib ak patikil chaje, epi lè iyon yo akselere bonbade sifas solid la, kolizyon atomik sifas ak enèji ak transfè momantòm rive, sa ki lakòz atòm materyèl sib yo chape soti nan sifas la ak depo sou materyèl la substra.

b. Sputtering se tou yon fenomèn nan ki atòm oswa molekil chape soti nan sifas la nan yon materyèl sib lè yo bonbade li ak patikil enèji chaje.

c. Depi pwosesis sputtering la gen konvèsyon momantòm, patikil sputtered yo direksyon.

Sputtering ka itilize pou jwenn metal, alyaj, oswa fim dyelèktrik sou sifas lòt materyèl substra. Li apwopriye pou fabrike sikui entegre fim mens, aparèy plon chip ak aparèy semi-conducteurs, elatriye.

Pwosesis Sputtering vle di ke patikil (yon oswa atòm net oswa molekil) nan sèten enèji bonbade sifas yon solid pou atòm yo oswa molekil ki toupre sifas solid la jwenn yon enèji ase gwo pou evantyèlman chape soti nan sifas solid la. Sputtering ka fèt sèlman anba yon vakyòm sèten, kidonk pwosesis la sputtering konnen tou kòm vakyòm sputtering.

Sputter kouch te parèt nan kòmansman an kòm senp DC dyòd sputtering. Li gen avantaj nan yon aparèy ki senp, men dipol la DC depozisyon sputtering pousantaj se ba. Li pa ka fèt nan presyon lè ki ba (<0.1 Pa) pou kenbe egzeyat oto-soutni. Dezavantaj tankou enkapasite nan sputter izolasyon materyèl limite aplikasyon li yo. Si yo ajoute yon katod cho ak yon anod oksilyè nan aparèy DC dipol sputtering, sa konstitye DC trip sputtering. Elektwon cho yo ki te pwodwi pa katod anplis cho ak anod oksilyè amelyore ionizasyon atòm gaz yo sputtering, ki fè sputtering posib menm nan presyon lè ki ba. Anplis de sa, la sputtering vòltaj ka redwi pou ke sputtering te pote soti nan presyon lè ki ba ak vòltaj ki ba. An menm tan an, aktyèl la egzeyat nan la sputtering kouch ogmante epi yo ka kontwole poukont vòltaj la. Anplis de sa nan yon elektwòd (tankou kadriyaj) devan katod cho a konstitye yon aparèy sputtering quadrupole, ki ka estabilize egzeyat la. Sepandan, aparèy sa yo gen difikilte pou jwenn zòn plasma ak konsantrasyon wo ak pousantaj depo ki ba, e konsa yo pa lajman itilize nan endistri.

Sputtering mayetron se devlope soti nan dipol sputtering. Magnetron sputtering se yon metòd pou etabli yon jaden mayetik orthogonal nan jaden elektrik la sou sifas sib la pou rezoud pwoblèm ki genyen nan to a depo ki ba nan dipol sputtering ak pousantaj disosyasyon plasma ki ba. Li te vin youn nan metòd prensipal yo nan endistri a kouch.

Sputtering mayetron gen karakteristik sa yo konpare ak lòt teknoloji kouch.

a. Pakèt materyèl ki ka prepare nan objektif, ki gen ladan alyaj ak materyèl seramik, menm prèske tout metal.

b. Ko-sputtering nan sib miltip nan kondisyon ki apwopriye, sa ki pèmèt depozisyon an nan alyaj jisteman pwopòsyonèl ak konstan.

c. Anplis de sa nan oksijèn, nitwojèn, oswa lòt gaz reyaktif nan atmosfè a egzeyat sputtering pèmèt depozisyon an nan fim konpoze fòme materyèl la sib ak molekil gaz.

d. Pa jisteman kontwole a pwosesis kouch sputtering, epesè fim inifòm ak segondè-presizyon ka fasil jwenn.

e. Materyèl sib la ka dirèkteman transfòme soti nan eta solid nan yon eta plasma pa ion krache, ak enstalasyon an nan sib sputtering se pa limite, ki se apwopriye pou konsepsyon an nan yon gwo volim chanm kouch ak aranjman miltip objektif.

f. Karakteristik yo nan vit sputter kouch, fim dans, ak bon adezyon fè li apwopriye pou gwo volim ak wo-efikasite pwodiksyon endistriyèl.

Kondisyon yo nan sib sputtering yo pi wo pase sa yo nan endistri materyèl tradisyonèl yo ak kondisyon jeneral tankou gwosè, plat, pite, kontni enpurte, dansite, N/O/C/S, gwosè grenn, ak kontwòl defo. Objektif sputtering yo gen tou kondisyon segondè oswa espesyal, ki gen ladan brutality sifas, rezistans, inifòmite gwosè grenn, konpozisyon ak inifòmite tisi, kontni oksid ak gwosè, pèmeyabilite mayetik, dansite ultra-wo ak grenn ultra-fin, elatriye. Magnetron sputtering kouch se yon nouvo kalite metòd kouch fizik vapè faz. Li sèvi ak yon sistèm zam elèktron pou emèt ak konsantre elektwon sou materyèl la dwe kouvwi pou atòm yo sputtered soti nan swiv prensip la nan konvèsyon momantòm ak vole lwen materyèl la ak enèji sinetik segondè depoze yon fim sou substra a. Materyèl kouvwi sa a rele sib sputtering. Objektif Sputtering yo enkli metal, alyaj, konpoze seramik, elatriye.

Sputtering sib yo sitou itilize nan domèn sa yo.
a. Elektwonik ak endistri enfòmasyon, ki gen ladan sikui entegre, depo enfòmasyon, ekspozisyon kristal likid, memwa lazè, aparèy kontwòl elektwonik, elatriye.
b. Endistri kouch vè (sputter kouch vè).
c. Mete ki reziste ak wo-tanperati endistri korozyon ki reziste.
d. endistri machandiz dekoratif segondè-klas.
e. Lòt endistri yo.

Sputter depozisyon se yon metòd pou atòm sputtering soti nan yon sib pa bonbade li ak patikil ki gen gwo enèji epi depoze yo sou sifas la nan substra a yo fòme yon fim mens.

A. Nenpòt sibstans kapab krache, espesyalman eleman ak konpoze ki gen gwo pwen k ap fonn ak presyon vapè ki ba. Solid nenpòt fòm, kèlkeswa sibstans la tankou metal, semi-conducteurs, izolan, konpoze, ak melanj, yo ka itilize kòm materyèl sib. Depi materyèl izolasyon ak alyaj tankou oksid yo pa dekonpoze ak fraksyon lè sputtered, yo ka itilize yo prepare fim mens ak konpozan ki sanble ak materyèl la sib ak fim alyaj ak konpozan inifòm, e menm fim superconducting ak konpozisyon konplèks.

B. Bon adhésion ant la fim sputtered ak substra a.

a. Enèji a nan atòm sputtered se 1-2 lòd grandè pi wo pase sa a atòm evapore. Se poutèt sa, patikil ki gen gwo enèji yo depoze sou substra a pou konvèsyon enèji, jenere pi wo enèji tèmik ak amelyore adezyon atòm yo sputtered nan substra a.
b. Yon pòsyon nan atòm yo sputtered ak gwo enèji pral pwodwi diferan degre nan fenomèn piki, fòme yon kouch difizyon sou substra a kote atòm yo sputtered ak atòm yo nan materyèl la substra yo melanje.
c. Pandan bonbadman an nan patikil sputtering, substra a toujou netwaye ak aktive nan rejyon an plasma, ki retire atòm yo presipite ki pa respekte byen epi pirifye ak aktive sifas la substra. Se poutèt sa, adezyon an nan kouch fim nan sputtered nan substra a anpil amelyore.

C. Nan la sputter kouch pwosesis, fenomèn nan kontaminasyon sous evaporasyon, ki pa ka evite pandan depozisyon vakyòm vakyòm, pa prezan. Se poutèt sa, la sputtering kouch dansite se wo, mwens pinholes ak pite nan kouch fim nan wo, tou.

D. Depi epesè fim ka kontwole pa kontwole sib aktyèl la pandan sputter kouch. Se poutèt sa, kontwòl la nan epesè nan fim nan kouch sputter ak repwodiksyon nan epesè nan fim nan miltip. krache ka efektivman plak epesè Predetermined nan fim nan.

E. Sputter kouch ka jwenn tou yon fim epesè inifòm sou yon gwo zòn.

A. Konplèks ekipman sputtering, ki mande aparèy presyon wo (elektrik).
B. Ba pousantaj depozisyon sputtering.
C. Tanperati k ap monte nan substra a wo epi li sansib a gaz enpurte.

Mikwoskopi Elektwonik (SEM) se yon zouti versatile. Pifò nan tan an, li ka itilize yo bay enfòmasyon nanokal sou echantiyon divès kalite san preparasyon echantiyon. Ak nan kèk ka, li nesesè yo sèvi ak SEM nan konbinezon ak yon Ion sputter coater pou jwenn pi bon imaj SEM.

Jounal Sputtering teknik nan kouch lò SEM ka imaj prèske tout kalite echantiyon, seramik, metal, alyaj, semi-conducteurs, polymère, echantiyon byolojik, elatriye. Sepandan, kèk kalite echantiyon espesifik yo pi difisil epi mande pou operatè a fè preparasyon echantiyon adisyonèl pou kolekte imaj bon jan kalite ak la. èd nan SEM lò espre. Etap adisyonèl sa yo enkli sputtering yon kouch mens kondiktif siplemantè nan materyèl tankou lò, ajan, platinum, oswa chromium sou sifas echantiyon an.

Akòz fasilite nan operasyon, gen kèk enkyetid lè w ap itilize lò sputter kouch. Atansyon a sèlman se ke nan kòmansman an, operatè a bezwen konnen pi bon paramèt yo jwenn pi bon rezilta yo flite. Sepandan, apre lò krache, sifas la nan eleman yo se pa materyèl orijinal la ak enfòmasyon revètman yo nan yo pèdi.

Si ou enterese nan nou an sputter coater oswa ou gen nenpòt kesyon, tanpri ekri yon imèl bay [imèl pwoteje], nou pral reponn ou pi vit ke posib.